製品紹介
8インチ Wafer Frame／Dicing Frame 向けの黒色帯電防止PP縦置きフレームシッパーケースです。ウェハダイシング前後のフレーム収容、保管、工程間搬送、出荷に使用します。
黒色帯電防止PP材を採用し、取り出しや搬送時の静電気の発生と蓄積を低減できます。ESD管理が求められる半導体製造現場に適しています。内部は縦置き分隔構造で、複数の Frame を分けて収納し、フレーム同士の直接接触を抑えます。
使用方法
- 上蓋を開け、ケース本体を片側へ適度に傾け、すでに入っている Wafer Frame が自然に同じ方向へ寄るようにして、複数の Frame がケース内で散らばったり接触したりしないようにします。
- 8インチ Wafer Frame／Dicing Frame を同じ方向で1枚ずつ対応する溝へ差し込み、両側が正しくスロットに入っていることを確認します。
- 1枚入れるごとに独立した溝に収まっていることを確認し、斜め差し、溝違い、隣接 Frame との接触を避けます。
- すべて収納後、ケース本体を直立状態に戻し、各 Frame が整列し、倒れ、重なり、溝外れがないことを確認します。
- 内部スプリング板／固定構造を取り付けてから上蓋を閉じ、搬送中に Frame が安定するようにします。本製品は Lid、Spring、Base を含む構造で、Flex Frame 装入後の組立確認を行います。
- 閉じた後は、Dicing 前後工程間の周転、仮置き、工場内搬送、出荷搬送に使用できます。
