製品紹介
12インチ Wafer Frame/Dicing Frame 向けの黒色帯電防止PP縦置きフレームシッパーケースです。ウェハダイシング前後のフレーム収容、保管、工程間搬送、出荷に使用します。
帯電防止PP材を採用し、取り出しや搬送時の静電気の発生と蓄積を低減できます。ESD管理が求められる半導体製造現場に適しています。内部は縦置き分隔構造で、複数の Frame を分けて収納し、フレーム同士の直接接触を抑えます。
使用方法
- 上蓋を開け、ケース本体を片側へ適度に傾け、収納済みの Wafer Frame が自然に同じ方向へ寄るようにします。
- 12インチ Wafer Frame/Dicing Frame を同じ方向で1枚ずつ対応する溝へ差し込みます。
- 1枚入れるごとに独立した溝に収まっていることを確認し、斜め差し、溝違い、複数の Frame が寄りかからないようにします。
- すべて収納後、ケース本体を直立状態に戻し、Frame が倒れ、重なり、溝外れしていないことを確認します。
- 内部固定構造を取り付けて上蓋を閉じ、搬送中に Frame が安定するようにします。
- Dicing 前後工程間の周転、仮置き、出荷搬送に使用できます。