半導体先端洗浄装置、エピタキシャル装置
デバイステスト装置、ポリッシャー装置
レーザーダイシング装置など
SiCウエハ基板、エピウェハ、
シリコンウェハ基板など
半導体プロセスに使用されるポリッシャー薬液、研磨シートなどの消耗品やウェハカセット、ラク、特殊包装材料など補材
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